半导体设备维修、改造升级以及设备全生命周期持续改善服务

半导体设备现状及需求分析

维修范围

主要以AMAT、LAM、KLA的量测、薄膜、蚀刻、封装等制程设备上的PCB板卡、电器控制单元为基础的维修及技术改造服务。

技术团队

公司骨干团队在半导体领域沉淀多年,具有丰富的设备研发和应用经验,为技术诊断、设备维修、技术改造服务提供有力保障。

全生命周期持续改善计划

不论设备处在生命周期的哪个阶段,华科股份均可提供完善的设备诊断、维护与替换等持续改进方案,保障设备稳定/可靠运行。

维修/改造优化能力展示

设备 制造商 晶圆规格
<8 Inch 12 Inch
ETCH AMAT eMax,DPS Metal/Poly DPS 2 Metal/Poly ,eMax, Enabler, Mesa
LAM TCP 9400/9600
TEL Unity2 Telius SCCM ,Vigus
Implanter AMAT E220, E500 Quantum.Viista series
Axcelis NV-GSD200 series
SEN GSD series
RTP AMAT Centura XE/XE+ Centura RTP, Vintage
Mattson AST2800, 2900
Litho Nikon NSR-2205i9/11/12/14 NSR-SF120,SF-140.SF-150
DNS SC-W80A-AV
TEL Mark7/8 ACT12, LITHIUS, LITHIUS i+,
Metrology AMAT SEMVision SEMVision G,UVision 4
KLA-Tencor 2139/2138,Archer series AIT series, Archer series
Nanometrics Metra7200 Caliper Mosaic,Atlas series
Hitachi CD SEM,FE SEM
Litho AMAT P-5000 CVD, Centura CVD Producer CVD ,Ultima X
Endura MOCVD Endura CL ,Endura II
LAM Concept-1, C2 C3, Vector/Speed/Altus
Diffusion TEL Alpha 8S/ 8SE A303i, Indy, Foumla
HIKE Quixace I / II
WET DNS WS-820, 821 SU-3100, FC-3000
LAM 203223 323.DV32/34/38