半导体设备维修、改造升级以及设备全生命周期持续改善服务
半导体设备现状及需求分析
维修范围
主要以AMAT、LAM、KLA的量测、薄膜、蚀刻、封装等制程设备上的PCB板卡、电气控制单元为基础的维修及技术改造服务。
技术团队
公司骨干团队在半导体领域沉淀多年,具有丰富的设备研发和应用经验,为技术诊断、设备维修、技术改造服务提供有力保障。
全生命周期持续改善计划
不论设备处在生命周期的哪个阶段,华科股份均可提供完善的设备诊断、维护与替换等持续改进方案,保障设备稳定/可靠运行。
维修/改造优化能力展示
设备 | 制造商 | 晶圆规格 | |
---|---|---|---|
<8 Inch | 12 Inch | ||
ETCH | AMAT | eMax,DPS Metal/Poly | DPS 2 Metal/Poly ,eMax, Enabler, Mesa |
LAM | TCP 9400/9600 | ||
TEL | Unity2 | Telius SCCM ,Vigus | |
Implanter | AMAT | E220, E500 | Quantum.Viista series |
Axcelis | NV-GSD200 series | ||
SEN | GSD series | ||
RTP | AMAT | Centura XE/XE+ | Centura RTP, Vintage |
Mattson | AST2800, 2900 | ||
Litho | Nikon | NSR-2205i9/11/12/14 | NSR-SF120,SF-140.SF-150 |
DNS | SC-W80A-AV | ||
TEL | Mark7/8 | ACT12, LITHIUS, LITHIUS i+, | |
Metrology | AMAT | SEMVision | SEMVision G,UVision 4 |
KLA-Tencor | 2139/2138,Archer series | AIT series, Archer series | |
Nanometrics | Metra7200 | Caliper Mosaic,Atlas series | |
Hitachi | CD SEM,FE SEM | ||
Litho | AMAT | P-5000 CVD, Centura CVD | Producer CVD ,Ultima X |
Endura MOCVD | Endura CL ,Endura II | ||
LAM | Concept-1, C2 | C3, Vector/Speed/Altus | |
Diffusion | TEL | Alpha 8S/ 8SE | A303i, Indy, Foumla |
HIKE | Quixace I / II | ||
WET | DNS | WS-820, 821 | SU-3100, FC-3000 |
LAM | 203223 | 323.DV32/34/38 | |