2022年4月国内10家主流晶圆厂共开标108台工艺设备，主要来自上海积塔（78台）、华虹无锡（20台）、福建晋华（5台）、时代电气（3台）、华力微电子（1台）、华力集成（1台）。22年1-4月合计开标401台工艺设备，主要来自华虹无锡（268台）、上海积塔（104台）、时代电气（14台）、福建晋华（12台）、华力集成（2台）、华力微电子（1台）。

炉管、刻蚀设备为2022年4月国内晶圆厂主要开标设备。2022年4月开标的108台设备中，按照不同工艺设备开标数量从高到低排列，分别为炉管设备（30台）、刻蚀设备（29台）、前道检测设备（10台）、清洗设备（10台）、干法去胶设备（9台）、沉积设备（8台）、离子注入机（4台）、涂胶显影设备（4台）、后道测试设备（2台）、光刻机（1台）、抛光设备（1台）。2022年1-4月开标的401台设备中，按照不同工艺设备开标数量从高到低排列，分别为炉管设备（112台）、刻蚀设备（61台）、沉积设备（61台）、前道检测设备（48台）、后道测试设备（35台）、离子注入机（18台）、清洗设备（17台）、抛光设备（15台）、涂胶显影设备（14台）、干法去胶设备（14台）、光刻机（6台）。

受国内刻蚀、干法去胶、涂胶显影等设备厂家拉动，中标国产率持续提升。2022年4月中国大陆设备中标数量为67台，国产率达62%。2022年1-4月开标的401台设备中，源自中国大陆厂家制造的设备共计97台，占比达24.2%。分晶圆厂看，2022年1-4月，上海积塔设备国产率超40%；分设备看，2022年1-4月国产率较高的环节主要为干法去胶设备（国产率71%）、刻蚀设备（51%）、清洗设备（41%）、离子注入机（39%）、抛光设备（27%）、涂胶显影设备（21%）聚焦4月份国内中标厂商，北方华创（中标33台）、中微公司（13台）、屹唐（10台）、芯源微（7台）、上海精测（1台）、盛美上海（1台）排名靠前，持续体现国内厂家在刻蚀、清洗、干法去胶、涂胶显影等设备环节的强势地位。