2022年6月国内主流晶圆厂公开标68台设备

以长江存储、华力集成、华力微电子、福建晋华、华虹无锡、合肥晶合、上海积塔、中车时代、中芯绍兴、武汉新芯10家中国大陆主要的IDM或代工企业为统计样本，通过中国国际招标网对上述晶圆厂中标情况进行梳理（详细样本选取规则见本节末说明）。2022年6月国内10家主流晶圆厂共开标68台工艺设备，前六个月合计开标548台工艺设备。

分晶圆厂看，2022年6月上海积塔为主要扩产厂家，共开标52台工艺设备。不同厂家扩产及招标节奏不同，因此不同时间段各厂家扩产差异性较大。2022年6月开标的68台设备主要来自上海积塔（52台）、华虹无锡（11台）、福建晋华（3台）、华力集成（1台），上海积塔及华虹无锡扩产贡献主要增量。

2022 年 1-6 月，华虹无锡开标 291 台工艺设备，贡献主要增量。2022 年 1-6 月开标的 548 台设备主要来自华虹无锡（291 台）、上海积塔（210 台）、时代电气（16 台）、福建晋华（23 台）、华力集成（6 台）、华力微电子（2 台），华虹无锡及上海积塔贡献主要增量。

分设备看，干法去胶机、后道测试、清洗设备贡献22年6月主要扩产增量。晶圆厂设备布局往往以光刻机为核心，围绕以多台刻蚀、薄膜沉积、清洗等设备，由于不同招标批次对应设备采购种类不同，因此不同时期工艺设备招标种类也会有所不同。2022年6月开标的68台设备中，按照不同工艺设备开标数量从高到低排列，分别为干法去胶机（14台）、清洗设备（13台）、后道测试设备（11台）、离子注入机（9台）、沉积设备（8台）、刻蚀设备（8台）、前道检测设备（2台）、炉管设备（2台）、抛光设备（1台）。

炉管、刻蚀、沉积设备贡献22年1-6月主要扩产增量。2022年1-6月开标的548台设备中，按照不同工艺设备开标数量从高到低排列，分别为炉管设备（119台）、沉积设备（97台）、刻蚀设备（82台）、前道检测设备（64台）、后道测试设备（46台）、清洗设备（33台）、干法去胶设备（31台）、离子注入机（28台）抛光设备（21台）、涂胶显影设备（17台）、光刻机（10台）。

设备国产率：刻蚀、干法去胶等设备国产率较高

2022年6月中国大陆设备中标数量为44台，国产率达64.7%。我们以设备中标台数计算国产率（包含拥有翻新业务的厂家），由于不同设备价值量不同，因此与实际市场规模测算的国产率有一定差异。且考虑不同晶圆厂、不同工艺设备的招标批次不同，中国大陆厂家中标频次分布未必平均，造成国产率有一定波动。近年来受益于北方华创、中微公司、盛美半导体、芯源微、屹唐半导体、至纯科技、华海清科等中国大陆厂家的不断发展，在刻蚀、沉积、清洗、抛光、干法去胶、炉管、涂胶显影等领域半导体设备中标国产率较高。从年度数据来看，2021年设备国产率达27.4%，较2020年16.8%有明显提升。2022年6月主流晶圆厂开标的68台设备中，源自中国大陆厂家制造的设备共计44台，占比达64.7%；2022年1-6月开标的548台设备中，源自中国大陆厂家制造的设备共计189台，占比达34.5%。

分晶圆厂看，2022年1-6月，上海积塔设备国产率超50%。2022年1-6月开标的548台设备主要来自华虹无锡（291台）、上海积塔（210台）、时代电气（16台）、福建晋华（23台）、华力集成（6台）、华力微电子（2台）。国产设备中标数较多的晶圆厂为上海积塔（126台）、华虹无锡（45台）、时代电气（8台）、福建晋华（9台）。其中上海积塔国产率超50%，华虹无锡开标设备中国外设备占比较高，国产率约为 15.5%。

分设备看：22年1-6月干法去胶、刻蚀、清洗设备国产率较高。按照国产设备中标数量从高到低排序，不同工艺设备国内厂家中标情况如下：刻蚀设备（44台）、沉积设备（29台）、炉管设备（26台）、干法去胶设备（25台）、前道检测设备（11台）、抛光设备（9台）、清洗设备（19台）、离子注入机（7台）、后道测试设备（12台）、涂胶显影设备（6台）、光刻机（1台）。其中国产率较高的环节主要为干法去胶设备（国产率81%）、刻蚀设备（54%）、抛光设备（43%）、清洗设备（58%）、涂胶显影设备（35.3%）。